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【招标公告】亚博网页登陆物信学院镀膜实验室设备货物类采购项目公开招标招标公告

创建者(zhe): 陈(chen)燕青时间: 2021-10-12浏览次数: 53

项(xiang)目概况(kuang)
  
受亚博网(wang)页登陆(lu)委(wei)托,福建省君平建设管理(li)有限公司对[350500]JP[GK]2021015、亚博网页登(deng)陆物信学院镀膜(mo)实验室设备货(huo)物类(lei)采购项目组织公开招标,现欢迎国(guo)内(nei)合格的供应商(shang)前来(lai)参加(jia)。
   
  
亚博(bo)网(wang)页登陆物信学院镀膜实(shi)验室设备(bei)货物类采(cai)购(gou)(gou)项目的潜在投标人应在福建省政府采(cai)购(gou)(gou)网(wang)(zfcg.czt.fujian.gov.cn)免费(fei)申(shen)请账号在(zai)福建省政府采(cai)购网上公开(kai)信息系统(tong)按项目(mu)获取采(cai)购文件(jian),并于2021-11-02 09:00(北京时间)前递(di)交投标(biao)文件。

       一、项目基本情况
  
项(xiang)目编号(hao): [350500]JP[GK]2021015
  
项(xiang)目名称: 亚博网页登陆物信学院镀膜(mo)实(shi)验室设备货物类采(cai)购项(xiang)目
  
采购方式: 公开招标
  
预算金(jin)额: 1250000元     

  
包(bao)1:
  
合同包预算金(jin)额: 1250000
  
投(tou)标保证金: 0
         
采购需求: (包括但不限(xian)于(yu)标的(de)的(de)名称、数量、简(jian)要技术需求或服务要求等)

品目(mu)号

品目(mu)编码及(ji)品目(mu)名称

采购(gou)标(biao)的

数量(单位)

允许(xu)进口

简要(yao)(yao)需求(qiu)或要(yao)(yao)求(qiu)

品目预算(元)

1-1

A02100399-其他(ta)光学仪器(qi)

镀膜(mo)机 (单探(tan)头)

1(套)

1、主要(yao)技术参数 (1)烘烤最高温度: 350℃,用于除(chu)真空室(shi)内水汽。 (2)整机(ji)主要系统空载(zai)极限(xian)真空度达到3×10-4Pa。 (3)恢复(fu)真空度: 4×10-3Pa,小于15分钟。 (4)电子枪: 2270E型枪(qiang),功率8KW可调(diao)。 (5)膜(mo)厚(hou)控制仪: 膜(mo)厚(hou)仪,单(dan)探头晶控系(xi)统。 (6)真(zhen)空系统控(kong)制采用(yong)电脑+PLC,可(ke)实(shi)现整机系统连续自动镀膜和实(shi)时监控。 (7)分子(zi)泵与高阀之间配水冷冷阱。 (8)主要密封胶圈采用(yong)氟(fu)橡胶。 2、系统(tong)详细配置 (1)形式(shi): 箱式(shi),立(li)式(shi)前(qian)开门,蒸发室(shi)和(he)抽气(qi)室(shi)为焊接式(shi);主(zhu)机与电(dian)控(kong)柜之间安装金属线(xian)槽(主(zhu)要连接电(dian)线(xian)、软水(shui)管(guan)和(he)软气(qi)管(guan)均放入金属线(xian)槽),并从主(zhu)机与电(dian)控(kong)柜上方通过。 (2)真空腔体: 内腔尺寸(cun)为(wei)Ф900mm(直(zhi)径)。采用304不锈钢制造,内表面作抛(pao)光(guang)处(chu)理,外壁(包(bao)括高(gao)阀上端(duan)与真空室)通冷(leng)却(que)水,内表(biao)面(mian)作抛(pao)光(guang)处理,外表(biao)面(mian)为直接焊(han)不锈钢半圆水管(耐2-4公(gong) 斤水压)。箱体内衬(chen)不锈钢防(fang)污板(ban)(侧壁防(fang)污板(ban)厚度δ=1mm,室(shi)内(nei)下防污板(ban)厚度(du)δ≧2.0mm,包(bao)括抽气口采(cai)用活动百叶窗两(liang)套,防(fang)污板为可(ke)拆(chai)卸式、便于清洗(xi);真(zhen)空室(shi)(shi)外(wai)壁(bi)(bi)配有水(shui)(shui)冷。真(zhen)空室(shi)(shi)外(wai)壁(bi)(bi)采(cai)用多(duo)段(duan)水(shui)(shui)冷却。提(ti)高(gao)内表(biao)面(mian)光洁(jie)度,再进行焊(han)(han)接(jie)(jie)加(jia)工(gong),焊(han)(han)接(jie)(jie)无堆积(ji)现(xian)象(xiang)以(yi)减少气体(ti)负(fu)载。 在真(zhen)空室(shi)(shi)顶部设置起重(zhong)吊环。外(wai)壁(bi)(bi)通冷却水(shui)(shui)管,不锈钢(gang)材料,与真(zhen)空室(shi)(shi)体(ti)外(wai)部焊(han)(han)接(jie)(jie)要求横平竖(shu)直,不锈钢(gang)材料,焊(han)(han)缝(feng)牢(lao)固可(ke)靠,整洁(jie)美观。箱体(ti)内表(biao)面(mian)要求先抛光处理后,提(ti)高(gao)内表(biao)面(mian)光洁(jie)度,再进行焊(han)(han)接(jie)(jie)加(jia)工(gong),焊(han)(han)接(jie)(jie)无堆积(ji)现(xian)象(xiang)以(yi)减少气体(ti)负(fu)载。 (3)真(zhen)空(kong)室门: 采(cai)用(yong)304不(bu)锈(xiu)钢(gang)(gang)材料,内表面(mian)作抛光处(chu)理,外表面(mian)为直接焊不(bu)锈(xiu)钢(gang)(gang)半圆水管,通冷(leng)却水冷(leng)却;真(zhen)空(kong)室门上装(zhuang)有表面(mian)涂(tu)漆(qi)的(de)外装(zhuang)饰板;真(zhen)空(kong)室门上设观察(cha)窗2个,配置(zhi)铅玻璃和可(ke)手动旋转的防(fang)护镜。采用先进(jin)的偏(pian)光技术可(ke)通过(guo)旋转玻璃角度来改变明亮度。真空室门(men)采用气缸自动关门(men)技术更快节省了镀膜时间。 (4)主(zhu)机骨架:骨架前(qian)面有带(dai)锁的门;两侧有固(gu)定侧板。 (5)水冷却系统:主(zhu)进(jin)、出水分配(pei)管(guan)采用不锈钢管(guan)制成,各主(zhu)要冷却均单独供水冷却。进(jin)、出塑料软管(guan)有标识区分;对(dui)主(zhu)泵、电子枪等加装水流保(bao)护,有断水报警(jing)。 (6)控电柜:采用并柜方式.一侧作为仪表(biao)安(an)装柜,宽度为19英寸国际标准;另一侧作为电器元件(jian)安装柜,为前后开门大板式结(jie)构(gou)。极限真空度:3×104Pa(真空室洁净) (7)恢(hui)复(fu)真空时间:大气至4×103 Pa≤15min(空载(zai)) 8)保真空:真空室达到极限真空度后(hou),关(guan)闭高真空阀一(yi)小时后(hou),真空室真空度≤9×101Pa 9)真空系统(tong)配置:主泵: 分子泵2;罗(luo)茨泵1台(抽速150L/Sec;前级(ji)泵: 双级直联泵1台(抽速约76L/Sec;各真空阀门为气(qi)动阀门;配备(bei)防湍流装置(可减(jian)少真空室排大气时(shi)湍流(liu)对较轻(qing)工件(jian)的影响)装在真(zhen)(zhen)空窒底部;真(zhen)(zhen)空系统(tong)管(guan)(guan)道采(cai)用不锈钢材(cai)料,管(guan)(guan)道软(ruan)连(lian)接处采(cai)用金(jin)属波纹管(guan)(guan);能实现对(dui)真(zhen)(zhen)空腔(qiang)体的(de)快慢放气(qi),充气(qi)阀口装配过滤器; (10)真(zhen)空(kong)(kong)系统测(ce)量: 配三路(lu)(lu)数(shu)字复合真(zhen)空(kong)(kong)计(ji)壹套(tao)(两路(lu)(lu)低(di)真(zhen)空(kong)(kong)电阻(zu)规,一路(lu)(lu)高真(zhen)空(kong)(kong)电离(li)规);带压(ya)强控制仪功能。高真(zhen)空(kong)(kong)电离(li)规安(an)装在真(zhen)空(kong)(kong)箱(xiang)体(ti)(ti)抽气(qi)室(shi)顶(ding)部(bu)靠近(jin)工作室(shi)一侧(ce);预留冷(leng)阱检测(ce)接(jie)口;低(di)真(zhen)空(kong)(kong)电阻(zu)规一组安(an)装在真(zhen)空(kong)(kong)箱(xiang)体(ti)(ti)抽气(qi)室(shi)顶(ding)部(bu)靠近(jin)工作室(shi)一侧(ce),另一路(lu)(lu)安(an)装在前级管道式,用(yong)于分子泵的启动及保护信号检测(ce)。真(zhen)空(kong)(kong)规管均采(cai)用(yong)金属规管。 (11)系统操(cao)作: 有手动和程(cheng)序自动两种模(mo)式;PLC控制(zhi)所(suo)有泵阀动作;高阀、低阀、预阀,到位信号送入(ru)PLC控制(zhi)信号(hao);PLC程序带故(gu)障报警(jing)(jing)功能,如气压、水流、机械泵(beng)等保护(hu)及报警(jing)(jing)。 (12)测(ce)试方法: 按照GB11164真(zhen)空(kong)镀膜机通用技(ji)术条件执行。 (13)工件架: 三伞型(xing)工件盘夹(jia)具两套(不锈钢材料(liao),开孔尺寸用(yong)户一个月内)。 (14)工件架旋转: 转速330rpm,交流变频调(diao)速,上驱(qu)动方式。工件盘轴向、径向跳(tiao)动小于等于±3mm;转动支承部(bu)位(wei)配有水冷(leng)套。磁(ci)流体(ti)密(mi)封(feng)。 (15)烘(hong)烤系统(tong): 桶状上(shang)烘(hong)烤。上(shang)烘(hong)烤加热器(qi)采用管(guan)状加热器(qi)。配温控仪(yi),仪(yi)表控制(zhi)精度为±1℃,控(kong)温方(fang)式(shi)为一点控(kong)温PID自动控温及显示。烘烤功率: 8KW。温度: 最高350℃,温(wen)度可控可调;烘烤温(wen)度均匀性(xing): 设定温(wen)度±5℃。 (16)电(dian)子(zi)束蒸发(fa)源(双枪(qiang)单电(dian)源): 加速电(dian)压: 负 6-9kV;最大电流: ?0.5A(此时的加速电压(ya)是-9kV)电子束偏转角(jiao): 270°(永磁(ci)铁);X扫描电流(liu): ±3A可调、10HZ-250HZ Y扫描电流: ±3A可调 10HZ-250HZ。 (17)坩(gan)埚(guo)(guo): 直接水(shui)冷;右(you)枪六穴直冷坩(gan)埚(guo)(guo)一(yi)套,坩(gan)埚(guo)(guo)衬套尺寸: Φ40*17,电(dian)动(dong)(dong)转(zhuan)(zhuan)位和点(dian)动(dong)(dong)转(zhuan)(zhuan)位(配坩埚衬(chen)套6个),驱动(dong)方(fang)式为(wei)步进(jin)电机;左(zuo)枪为(wei)环形直冷坩(gan)埚(guo)(guo)一套,坩(gan)埚(guo)(guo)尺寸与右枪对称,驱动(dong)方(fang)式为(wei)步进(jin)电机, 转速可(ke)调。备有有线遥控盒手持(chi)操作;可(ke)开(kai)关高(gao)压,调节束流、开(kai)关挡板、带(dai)坩(gan)埚(guo)(guo)显示、束流显示等。配2套气(qi)动挡板机构(gou),转动角(jiao)度一定范围内(nei)可调,挡板为插入式。配2套固定式修正(zheng)挡板,可调节高(gao)度及角度,安装在(zai)左、右电子(zi)枪上方。 (18)阻蒸: 一(yi)组(zu),电(dian)压12V,功率10KW 。 (19)晶(jing)体控制仪(yi): 膜(mo)(mo)厚仪(yi),一台配单探头,一台配六探头,并配相应的控制系(xi)统,采用电脑膜(mo)(mo)系(xi)编辑导入。(a)控制电子束蒸(zheng)发源(yuan)蒸(zheng)发速率。(b)控制及电子(zi)束蒸发(fa)源挡板。(c)控制(zhi)材(cai)料充气。(d)控制电子枪坩埚(guo)的(de)转动。可控制自(zi)动实现(xian)整个镀膜工(gong)艺。 (20)离子源辅(fu)助: 配离子源 1台 (21)充气系统(tong): 配两路(lu)“山武”质量(liang)流量(liang)计,流量(liang)控制范围4200SCCM。带压(ya)强控(kong)制功能,可(ke)实现每个坩(gan)埚不同的真空度,在-3 Pa范(fan)围可控。 (22)电气(qi)控制系统: PLC+电脑对设备真(zhen)空系统(tong)(tong)、蒸(zheng)发源(yuan)系统(tong)(tong)、烘烤系统(tong)(tong)、工件转动系统(tong)(tong)、晶控(kong)膜厚监控(kong)系统(tong)(tong)等进行(xing)监测和控(kong)制(zhi),实现(xian)真(zhen)空系统(tong)(tong)及晶控(kong)镀膜过程自动控(kong)制(zhi),安全报(bao)警及故障信息显示,并通过文字(zi)方(fang)式提示。控(kong)电柜面板下方(fang)安装(zhuang)两个单相220V10A电源插(cha)座。水、电、气路有故障自(zi)动报(bao)警和保护系(xi)统。 (23)设(she)备颜色: 采用(yong)标准色标。

551800

1-2

A02100399-其他(ta)光学仪器

镀膜机 (六探(tan)头)

1(套)

否(fou)

1、主(zhu)要技术参数 (1)烘烤(kao)最高温度: 350℃,用于除真空(kong)室内水汽。 (2)整机主要系统空载极(ji)限真空度达到3×10-4Pa。 (3)恢复真空度: 4×10-3Pa,小于15分钟。 (4)电(dian)子枪: 2270E型枪,功率8KW可调。 (5)膜厚(hou)控(kong)制仪(yi): 膜厚(hou)仪(yi),六探头晶控(kong)系(xi)统(tong)。 (6)真空系统控(kong)制采用电脑+PLC,可实现整(zheng)机系统(tong)连续(xu)自动(dong)镀膜和实时监控(kong)。 (7)分子泵与高阀之间(jian)配水冷(leng)冷(leng)阱。 (8)主要密封(feng)胶圈采(cai)用氟橡胶。 2、系统详细(xi)配(pei)置。 (1)形式: 箱式,立(li)式前(qian)开门,蒸发室和抽气室为(wei)焊接式;主(zhu)机与电控柜之间安装金属线槽(主(zhu)要连接电线、软水管(guan)和软气管(guan)均(jun)放入金属线槽),并从主(zhu)机与电控柜上方通过。 (2)真空腔体: 内腔尺寸为(wei)Ф900mm(直径(jing))。采用(yong)304不(bu)锈钢制造,内表面(mian)作抛光处理,外壁(包括高阀(fa)上端(duan)与真空室(shi))通冷却水,内表面(mian)作抛光处理(li),外表面(mian)为直(zhi)接焊不(bu)锈钢半圆水管(耐(nai)2-4公(gong) 斤水压)。箱(xiang)体内衬不锈钢防(fang)污板(侧壁防(fang)污板厚度δ=1mm,室内下(xia)防污板厚度δ≧2.0mm,包括抽(chou)气(qi)(qi)(qi)口采用(yong)活动百叶(ye)窗两套,防污板(ban)为(wei)可拆卸式(shi)、便于清洗;真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)室(shi)外(wai)(wai)壁(bi)(bi)配(pei)有水(shui)冷。真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)室(shi)外(wai)(wai)壁(bi)(bi)采用(yong)多段水(shui)冷却。提高内表(biao)面(mian)光(guang)洁(jie)度(du),再进行焊(han)(han)接加工,焊(han)(han)接无堆(dui)积(ji)现象(xiang)以(yi)减(jian)少气(qi)(qi)(qi)体负载(zai)。在真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)室(shi)顶部设置起(qi)重吊环(huan)。外(wai)(wai)壁(bi)(bi)通(tong)冷却水(shui)管,不锈钢材料,与真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)室(shi)体外(wai)(wai)部焊(han)(han)接要求(qiu)横平竖直(zhi),不锈钢材料,焊(han)(han)缝(feng)牢(lao)固可靠,整洁(jie)美观。箱体内表(biao)面(mian)要求(qiu)先抛光(guang)处理后,提高内表(biao)面(mian)光(guang)洁(jie)度(du),再进行焊(han)(han)接加工,焊(han)(han)接无堆(dui)积(ji)现象(xiang)以(yi)减(jian)少气(qi)(qi)(qi)体负载(zai)。 (3)真空室门: 采用304不锈钢材料(liao),内表(biao)(biao)面(mian)作抛光处(chu)理,外表(biao)(biao)面(mian)为(wei)直接焊(han)不锈钢半圆水管,通冷(leng)却水冷(leng)却;真空室门上装(zhuang)有表(biao)(biao)面(mian)涂漆的外装(zhuang)饰板;真空室门上设(she)观察窗2个,配(pei)置铅玻璃和(he)可(ke)(ke)手动(dong)旋(xuan)转的(de)防护镜。采(cai)用先进的(de)偏光技(ji)术可(ke)(ke)通(tong)过(guo)旋(xuan)转玻璃角(jiao)度来改变明亮度。真空室门采(cai)用气缸自动(dong)关门技(ji)术更快节省了镀膜时(shi)间。 (4)主机骨架:骨架前面有带锁(suo)的门;两侧有固定侧板(ban)。 (5)水冷却系统(tong):主(zhu)进、出(chu)(chu)水(shui)分配管采用(yong)不锈(xiu)钢管制(zhi)成,各(ge)主(zhu)要(yao)冷却(que)均单独供水(shui)冷却(que)。进、出(chu)(chu)塑料软管有(you)标识区分;对主(zhu)泵、电(dian)子枪(qiang)等加装水(shui)流保护,有(you)断水(shui)报警。 (6)控电柜:采用并(bing)柜方式(shi).一侧(ce)作(zuo)为仪表安装柜,宽度为(wei)19英寸国际标准(zhun);另(ling)一侧作为电器元(yuan)件(jian)安装柜(ju),为前后开(kai)门大板式(shi)结构。极限真空度:3×104Pa(真空室洁(jie)净) (7)恢复(fu)真(zhen)空时间:大气至4×103 Pa≤15min(空载(zai)) 8)保真(zhen)空:真(zhen)(zhen)空(kong)室达到极限真(zhen)(zhen)空(kong)度(du)后,关闭高真(zhen)(zhen)空(kong)阀一(yi)小时后,真(zhen)(zhen)空(kong)室真(zhen)(zhen)空(kong)度(du)≤9×101Pa 9)真空系(xi)统配(pei)置:主泵: 分(fen)子泵2台(tai);罗茨(ci)泵1台(抽速(su)150L/Sec;前级(ji)泵: 双级直联泵1台(抽速约(yue)76L/Sec;各(ge)真空阀门为(wei)气动阀门;配(pei)备(bei)防湍(tuan)流(liu)装(zhuang)置(zhi)(可减(jian)少真(zhen)空室排(pai)大(da)气时(shi)湍(tuan)流对较轻工件(jian)的影响)装在(zai)真(zhen)空窒(zhi)底部;真(zhen)空系统管道(dao)采用不锈钢材料(liao),管道(dao)软(ruan)连接处采用金属波纹管;能实现对真(zhen)空腔体(ti)的快慢放气(qi),充(chong)气(qi)阀口装配(pei)过(guo)滤器(qi)。 (10)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)系(xi)统测(ce)量: 配三路(lu)(lu)数(shu)字复(fu)合真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)计壹套(tao)(两路(lu)(lu)低(di)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)电(dian)(dian)阻(zu)规,一(yi)路(lu)(lu)高真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)电(dian)(dian)离规);带压强控制仪功(gong)能。高真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)电(dian)(dian)离规安装(zhuang)在(zai)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)箱体抽气室顶部靠近工(gong)作(zuo)室一(yi)侧;预留冷阱检测(ce)接口;低(di)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)电(dian)(dian)阻(zu)规一(yi)组安装(zhuang)在(zai)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)箱体抽气室顶部靠近工(gong)作(zuo)室一(yi)侧,另一(yi)路(lu)(lu)安装(zhuang)在(zai)前级管道式,用于分子泵的启动及保护(hu)信号检测(ce)。真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)规管均采用金属规管。 (11)系统操(cao)作: 有(you)手动(dong)和程(cheng)序自动(dong)两(liang)种模(mo)式;PLC控制所有泵阀(fa)(fa)(fa)(fa)动作;高阀(fa)(fa)(fa)(fa)、低阀(fa)(fa)(fa)(fa)、预阀(fa)(fa)(fa)(fa),到位(wei)信号(hao)送(song)入PLC控制(zhi)信号(hao);PLC程(cheng)序带故障(zhang)报(bao)警(jing)(jing)功能,如(ru)气压、水流、机械泵等(deng)保护(hu)及报(bao)警(jing)(jing)。 (12)测(ce)试方法: 按照GB11164真(zhen)空(kong)镀膜机通用技术条件执行。 (13)工件架: 三伞型工件盘夹具两套(不锈钢(gang)材料,开孔(kong)尺寸用(yong)户一个月内)。 (14)工件架旋转(zhuan): 转(zhuan)速330rpm,交流变频调速,上(shang)驱动方式。工件盘轴向、径向跳动小于等于±3mm;转动支(zhi)承部(bu)位(wei)配(pei)有水冷套。磁流体密封。 (15)烘烤系统: 桶状上(shang)烘烤。上(shang)烘烤加(jia)热器采用管状加(jia)热器。配温控(kong)仪,仪表控(kong)制(zhi)精度为±1℃,控温方式(shi)为一点控温PID自(zi)动控温及显示。烘烤功率: 8KW。温度: 最(zui)高(gao)350℃,温度(du)(du)可控可调;烘(hong)烤温度(du)(du)均(jun)匀性: 设定温度(du)(du)±5℃。 (16)电子束蒸(zheng)发源(双枪单电源): 加(jia)速电压: 负 6-9kV;最大电流: ?0.5A(此时(shi)的加速电压是-9kV)电子束(shu)偏(pian)转(zhuan)角(jiao): 270°(永(yong)磁铁);X扫(sao)描电(dian)流: ±3A可(ke)调、10HZ-250HZ Y扫描电流: ±3A可调 10HZ-250HZ。 (17)坩(gan)埚(guo): 直接水冷(leng);右枪六穴直冷(leng)坩(gan)埚(guo)一套,坩(gan)埚(guo)衬套尺寸: Φ40*17,电动(dong)转(zhuan)位和点动(dong)转(zhuan)位(配(pei)坩(gan)埚(guo)衬(chen)套6个),驱(qu)动方式为(wei)步(bu)进电(dian)机(ji);左枪为(wei)环形直冷坩埚一套,坩埚尺(chi)寸(cun)与右枪对称,驱(qu)动方式为(wei)步(bu)进电(dian)机(ji), 转速可调(diao)。备有有线遥控盒手持(chi)操(cao)作;可开(kai)关(guan)高压,调(diao)节(jie)束(shu)流、开(kai)关(guan)挡板、带坩埚显(xian)示、束(shu)流显(xian)示等。配(pei)2套气(qi)动(dong)挡板(ban)机构,转动(dong)角度(du)一(yi)定范围内可调,挡板(ban)为插(cha)入(ru)式。配(pei)2套固定式(shi)修正挡板(ban),可(ke)调节高(gao)度及角度,安(an)装在(zai)左(zuo)、右电子枪(qiang)上方(fang)。 (18)阻蒸: 一组,电压12V,功率10KW 。 (19)晶体控(kong)制仪: 膜(mo)厚仪,一台配(pei)单探(tan)头(tou),一台配(pei)六探(tan)头(tou),并配(pei)相应(ying)的控(kong)制系(xi)统,采用电脑膜(mo)系(xi)编辑导入。(a)可(ke)控制电子束蒸发(fa)源(yuan)蒸发(fa)速率。(b)可(ke)控制及电(dian)子束蒸发源挡板。(c)可(ke)控(kong)制材(cai)料充(chong)气。(d)可控制(zhi)电子枪坩埚的转动。可控制(zhi)自动实现整(zheng)个镀膜工艺。 (20)离子源(yuan)(yuan)辅助(zhu): 配离子源(yuan)(yuan) 1台(tai) (21)充气系统: 配(pei)两路“山(shan)武”质量流量计,流量控制范围4200SCCM。带(dai)压强(qiang)控制功能(neng),可实现每个坩埚不同的(de)真空度,在-3 Pa范围可控。 (22)电(dian)气控制(zhi)系统(tong): PLC+电脑(nao)对(dui)设(she)备真空(kong)系(xi)统(tong)、蒸(zheng)发源系(xi)统(tong)、烘烤系(xi)统(tong)、工(gong)件转动系(xi)统(tong)、晶(jing)控膜(mo)(mo)厚监控系(xi)统(tong)等进行(xing)监测和控制,实(shi)现真空(kong)系(xi)统(tong)及晶(jing)控镀膜(mo)(mo)过(guo)程(cheng)自动控制,安全报(bao)警及故障信息显示,并通过(guo)文字方式提示。控电柜面板(ban)下(xia)方安装两个单(dan)相220V10A电源插座。水(shui)、电、气路有故障自动报警和保护系统。 (24)设备颜色: 采用标准(zhun)色标。

610300

1-3

A02100399-其(qi)他光学仪器

冷水机(ji)

1(台)

1)温(wen)度: 23-25℃ 2)流量: ≥16m3/h 3)压(ya)力: 0.3-0.35MPa 4)控(kong)制: PLC自(zi)动控制 (5)管(guan)道: 采用台塑南亚管(guan)件,外套保温棉

67400

1-4

A02100399-其他光学仪器

喷砂机

1(台)

1)内置(zhi): 带装盘,带推车 (2)电压(ya): 220V 50HZ 3)功率: ≥600W

16700

1-5

A02100399-其他光学仪器(qi)

真空(kong)专用(yong)铝箔

1(台)

1)尺寸: ≥0.03*620mm 2)重量: ≥50Kg

3800

   合同履行期限:  详见招(zhao)标文(wen)件
          
本合同包: 不接(jie)受(shou)联合体(ti)投标

 二、申请人的(de)资格(ge)要求:

 1.满足《中华(hua)人民(min)共(gong)和国(guo)政府采购法》第二十(shi)二条规定;   
   2.
本项目的特定资格要求:
  
包(bao)1
   (1)
明(ming)细: 招标文(wen)(wen)件规定(ding)的其(qi)他资格证明(ming)文(wen)(wen)件(若(ruo)有)    描(miao)述: 1、(强制类(lei)节(jie)能产品证明(ming)材料(liao),若有,应(ying)在此(ci)处填写(xie)); 2、(按照(zhao)政府采购法实施条(tiao)例第17条除第“(一)-(四(si))”款外的(de)(de)其(qi)他条款规定(ding)(ding)填写投(tou)标(biao)人(ren)应(ying)提交(jiao)的(de)(de)材(cai)料,如: 采(cai)(cai)购人(ren)提出特定(ding)(ding)条件的(de)(de)证明材(cai)料、为落实政(zheng)府(fu)采(cai)(cai)购政(zheng)策(ce)需(xu)满足要求(qiu)的(de)(de)证明材(cai)料(强制(zhi)类)等,若有,应(ying)在此处(chu)填写)。 ※1上述材(cai)料(liao)中若有与(yu)“具备(bei)履行合同所(suo)必需设备(bei)和(he)专业技术能力专项(xiang)证明材(cai)料(liao)”有关的规定及内容在(zai)本表b1项下填写,不在此处填写。 ※2投标人应按(an)照招标文件(jian)第七(qi)章规(gui)定(ding)提(ti)供。
   (2)
明细(xi): 具(ju)备履行合同(tong)所必需设备和专(zhuan)业(ye)技(ji)术能(neng)力专(zhuan)项证明材料(liao)(若有)    描述: 1、招标文件要(yao)求(qiu)投标人提(ti)供“具(ju)备履行(xing)合同所必需的设备和专(zhuan)业技术能力专(zhuan)项(xiang)证(zheng)明材料”的,投标人应(ying)按(an)照招标文件规定在此项(xiang)下提(ti)供相应(ying)证(zheng)明材料复印件。 2、投标(biao)人提供(gong)的相应证明材(cai)料复(fu)印件均应符合: 内(nei)容(rong)完整(zheng)、清晰、整(zheng)洁,并由投标(biao)人加盖其(qi)单位公章(zhang)。
      (如项(xiang)目接受联合体投标,对联合体应提(ti)出相关资格(ge)要求;如属于(yu)特定行业(ye)项(xiang)目,供应商应当具备特定(ding)行业(ye)法定(ding)准入要求。)   
      三、采(cai)购项(xiang)目需要落实的政(zheng)府采(cai)购政(zheng)策
  (1)
进(jin)口产品(pin): 不适用于(yu)(合同(tong)包1)。(2)节能产(chan)品、环(huan)境(jing)(jing)标志(zhi)产(chan)品: 按照(zhao)《财(cai)政(zheng)部(bu) 发展改(gai)革委 生态环(huan)境(jing)(jing)部(bu) 市场监(jian)管总局亚博网页登(deng)陆调(diao)整优化(hua)节能产(chan)品、环(huan)境(jing)(jing)标志(zhi)产(chan)品政(zheng)府采购执行(xing)机制的通知》财(cai)库〔20199号规定执行(xing)。 (3) 小型、微型企业: 执行《政(zheng)府(fu)采购促进中小企业发展管理办(ban)法》(财库〔202046号)。(4) 监(jian)狱企业: 执行《亚博网页登陆政府采购(gou)支(zhi)持监(jian)狱企业发展有关问题(ti)的通知》(财库【201468号)。(5) 残(can)疾人福利性单位: 执(zhi)行《亚博网页登(deng)陆促进残(can)疾人就业政(zheng)府采(cai)购政(zheng)策(ce)的(de)通知》(财库〔2017141号)。(6)执行《亚(ya)博(bo)网页登陆(lu)在(zai)政府采(cai)购活动中查(cha)询及使用(yong)信用(yong)记录有关(guan)问题(ti)的通知》(财库﹝2016﹞125号)

四、获取招标文件(jian)
 
时间: 2021-10-12 09:482021-10-27 23:59(提供(gong)期限自本公告发(fa)布之(zhi)日起不(bu)得少(shao)于5 个工(gong)作日),每天上(shang)午00:00:0011:59:59,下午12:00:0023:59:59(北京(jing)时(shi)间(jian),法定(ding)节假日(ri)除外)
 
地点: 招标文件随同本项目招标公告(gao)一(yi)并 发布;投标人(ren)应先(xian)在福建省政(zheng)府(fu)采购网(zfcg.czt.fujian.gov.cn)免费申(shen)请账号在福建省政(zheng)府采 购网上公开信息(xi)系统按项(xiang)目下载招标文件(请(qing)根据项目所在地,登录对应的(省本级/市级/区(qu)县))福建省政府采 购网上公开(kai)信息系(xi)统操作),否(fou)则投标将被拒绝(jue)。
 
方式: 在(zai)线获(huo)取
 
售价: 免(mian)费(fei)

五、提交投标文件(jian)截止时(shi)(shi)间(jian)、开(kai)标时(shi)(shi)间(jian)和(he)地点

2021-11-02 09:00(北京时间)(自招标(biao)文件(jian)(jian)开(kai)始发出之日起(qi)至投标(biao)人提(ti)交(jiao)投标(biao)文件(jian)(jian)截(jie)止(zhi)之日 止(zhi),不得少于20日)
 
地点: 福(fu)建省泉州市丰泽区坪山南路255号(hao)泉州理工学(xue)院产学(xue)研园区思(si)恩楼5D

六、公告(gao)期限(xian)

 自本公告发(fa)布(bu)之日起(qi)5个工作日(ri)。

七、其他补充事(shi)宜
  

      八、对(dui)本次(ci)招标提出询问,请按(an)以下方式(shi)联系。

 1.采(cai)购人信息
  
名    称: 亚博(bo)网页登陆  
  
地(di)    址: 泉州市丰泽区(qu)东海大街398
  
联(lian)系方式: 0595-22919532

  2.采购代理机(ji)构(gou)信息(xi)(如有)
  
名    称: 福建省(sheng)君(jun)平(ping)建设管理有限(xian)公司
  
地  址: 泉(quan)州市永(yong)春县桃城镇湖滨(bin)路379
  
联系方式: 0595-22556818fjjp27196988@163.com

  3.项(xiang)目(mu)联(lian)系(xi)方式
  
项目联系人(ren): 曾蕴慧
  
电(dian)   话: 0595-22556818fjjp27196988@163.com
  
网(wang)址: zfcg.czt.fujian.gov.cn
  
开户(hu)名: 福建省君平建设管理有限公司(si)
【定稿】[350500]JP[GK]2021015亚博网页登陆物信学院镀膜实验室设备货物类采购项目招标文件.docx



                   福建(jian)省君平建(jian)设管理有限公司

                   2021年(nian)1012



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